無塵室等級解析:你真的理解 Class 100/1000 的差別嗎?
1. 什麼是無塵室等級?
無塵室(Cleanroom)是以控制空氣中懸浮微粒濃度為核心的特殊環境。
早期依照美國 FED-STD-209E 標準,使用「Class」表示潔淨度:
- Class 100:每立方英尺空氣中粒徑 ≥ 0.5 µm 的粒子不得超過 100 個。
- Class 1000:每立方英尺空氣中粒徑 ≥ 0.5 µm 的粒子不得超過 1,000 個。
2001 年後改以 ISO 14644-1 國際標準為主,採「ISO Class」標示方式:
- Class 100 ≈ ISO 5
- Class 1000 ≈ ISO 6
雖然舊制已停用,但在產業界仍被廣泛沿用以方便辨識。
2. Class 100 vs Class 1000 差別在哪?
| 比較項目 | Class 100 (ISO 5) | Class 1000 (ISO 6) |
|---|---|---|
| 允許粒子量 (≥0.5 µm) | ≤ 100 顆/立方英尺 | ≤ 1,000 顆/立方英尺 |
| 空氣更換次數 | 約 240 次/小時 | 約 60–90 次/小時 |
| 氣流型態 | 單向流(層流) | 混合流/非單向流 |
| 常見應用 | 晶圓製造、光學鏡頭、醫材製程 | 組裝間、包裝區、實驗室前段區域 |
簡言之,Class 100 的潔淨度是 Class 1000 的十倍以上,因此在工程設計、施工材料、氣流控制與能源消耗上,要求也更嚴格。
3. 工程設計與選擇考量
在設計無塵室時,等級選擇並非「越高越好」,而應依產品特性與製程需求決定:
- 製程敏感度 — 若微粒會造成短路、刮痕或感染,應採 Class 100 或更高。
- 設備與空調配置 — 不同潔淨等級需搭配相應的 HEPA/ULPA 濾網、風速與壓差控制。
- 能耗與維護成本 — 潔淨度越高,能耗與維護頻率隨之提升。
- 彈性擴充性 — 採用模組化潔淨室設計,能在未來需求變動時快速升級。
4. 統立工程的專業建議
統立工程在無塵室與空調系統整合方面具備多年經驗,從初期規劃、等級驗證到施工監造,皆能依據製程需求提供最佳化解決方案:
- 精密製造與半導體廠房 Class 100 設計
- 食品、生醫產線 Class 1000 與 Class 10,000 整合
- 潔淨室節能改造與空調調整方案
- AI 即時環境監測模組設計
我們相信,「潔淨度」不只是數字,而是穩定產能與品質的核心競爭力。